C-43A型光刻機(jī) 9英寸 精密光刻機(jī)

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C-43A型光刻機(jī) 9英寸 精密光刻機(jī)
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C-43A型光刻機(jī)9英寸精密光刻機(jī)是一款高精度的光刻設(shè)備，適用于多種應(yīng)用領(lǐng)域，包括中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲表面波器件、薄膜電路和電力電子器件的研制和生產(chǎn)。這款設(shè)備具備特殊的找平機(jī)構(gòu)，使其不僅適用于各種常見材料如硅片、玻璃片、陶瓷片、銅片、不銹鋼片、寶石片的曝光，還能處理非圓形基片和小型基片的曝光需求。

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以下是C-43A型光刻機(jī)9英寸精密光刻機(jī)的主要技術(shù)特點(diǎn)：

1. 承片臺(tái)： 設(shè)備配置了一件承片臺(tái)，其具體尺寸可以根據(jù)用戶的需求進(jìn)行定制，以適應(yīng)不同的工作場景。

2. 曝光頭： 該光刻機(jī)采用高均勻性多點(diǎn)光源曝光頭，確保出射光斑小于230毫米。它搭載了350W高壓直流汞燈，使光的不均勻性在直徑230毫米的范圍內(nèi)低于8%。這有助于實(shí)現(xiàn)在真空密封條件下的曝光。光的強(qiáng)度可以通過X、Y、Z軸進(jìn)行精確調(diào)節(jié)，而曝光時(shí)間則可以通過0.1秒到999.9秒的時(shí)間繼電器進(jìn)行設(shè)定。

3. 汞燈位置調(diào)節(jié)： 曝光頭的汞燈位置可以通過精密的X、Y、Z軸調(diào)節(jié)裝置進(jìn)行微調(diào)，X軸調(diào)節(jié)量為5毫米，而Y軸可以在-5毫米到+5毫米之間調(diào)節(jié)。這有助于確保光斑的準(zhǔn)確位置。

4. 冷卻裝置： 設(shè)備配備了風(fēng)扇冷卻裝置，有助于保持設(shè)備的穩(wěn)定性和性能，特別是在長時(shí)間操作時(shí)。

5. 分辨率： 該光刻機(jī)具備2微米的分辨率，適用于高精度的曝光需求。

6. 真空吸片功能： 具備真空吸附功能，可以在不同密封度下實(shí)現(xiàn)硬接觸曝光（密封真空-0.05Mpa）、軟接觸曝光（密封真空在-0.05Mpa到-0.02Mpa之間）和微力接觸曝光（密封真空>-0.02Mpa）。這提供了更大的靈活性，以滿足不同曝光需求。

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C-43A型光刻機(jī)9英寸精密光刻機(jī)是一款高性能的精密光刻設(shè)備，適用于多種應(yīng)用領(lǐng)域，并具備多項(xiàng)先進(jìn)技術(shù)，以滿足不同用戶的曝光和加工需求。它的靈活性、精度和可調(diào)性使其成為科研單位和企業(yè)的理想選擇。